В отличии от RAID5 в RAID3 для хранения контрольных сумм выделяется отдельный диск, при этом данные 
распределяются по дискам не на уровне блоков, а на уровне байтов (каждый запрос приводит к обращению ко всем дискам).
RAID3 оптимален при работе с данными большого объема и преобладании линейных запросов. При работе с большим числом 
мелких файлов, производительность падает.Имеем: 5 500GB SATA дисков /dev/ad1 ... /dev/ad5, 1 для контрольных сумм и 4 для хранения данных. 
В итоге получим массив размером 2 Тб.
Загружаем модуль ядра  с реализацией geom класса graid3:
   graid3 load
Создаем массив (вместо rd3 можно указать любое желаемое имя):
   graid3 label -r rd3 ad1 ad2 ad3 ad4 ad5
Опция "-r" включает задействование для операций чтения диска с контрольными суммами, 
подобное позволяет значительно увеличить скорость параллельного случайного доступа к файлам, но уменьшает производительность 
последовательного чтения.
Проверяем статус:
   graid3 status
   Name        Status  Components
   raid3/rd3   COMPLETE  ad1
                         ad2
                         ad3
                         ad4
                         ad5
Смотрим список дисков:
   graid3 list
Форматируем (-U - включение Soft Updates):
   newfs -U /dev/raid3/rd3
Монтируем:
   mkdir /bigstore
   mount /dev/raid3/rd3 /bigstore
Автоматизируем подключение при загрузке, в /boot/loader.conf добавляем 
   geom_raid3_load="YES"
В /etc/fstab прописываем монтирование раздела:
   /dev/raid3/rd3  /bigstore  ufs  rw,noatime 1  1
В случае повреждения диска, достаточно его заменить без выполнения каких-либо команд - подключение нового диска и 
перестроение массива будут выполнены автоматически, мета данные о структуре массива сохраняются на каждом диске.
URL: 
Обсуждается: http://www.opennet.dev/tips/info/1992.shtml